[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (3) 클린룸 공조설비
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(3) 클린룸 공조설비공조설비 개요1. 공기조화의 정의 1) 공기조화 - 인공적으로 어떤 특정한 공간의온도, 습도, 청정도, 기류 등을 주어진 조건으로 상시 제어하는것 2) HAVC - Heating, Ventilation, Air Conditioning(난방, 환기, 공기조화) - 외부의 공기를 이용하여 특정한 내부공간을 최적의 온도, 습도, 기류 등으로 제어하는것 3) 공조의 4대 요소 - 온도 / 습도 / 청정도 / 기류분포 2. 공기조화의 분류 3. 공기관련 용어 설명 1) TAC 온도 - 기술자문위원회(TAC : Technical Advisory Committee) 제안 - 냉난방 설계 외기온도를 결정할 때, 냉난방기간 중 외기설정온도 밖으로 ..
2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (1) 클린룸 개요
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(1) 클린룸 개요 클린룸의 정의 및 분류 1. 클린룸의 정의 - 공기 부유입자의 농도를 일정한 수치 이하로 제어, 입자의 유입, 생성 및 체류를 최소화한 공간 - 온도, 습도, 압력 등이 필요에 맞게 일정하게 제어되는 공간 2. 클린룸의 분류 1) 산업용 클린룸(ICR, Industrial Clean Room) - 전자공장이나 정밀기계공장에서 생산 공정의 청정 환경을 위해 사용되는 클린룸 - 시스템에 대한 정밀화, 소형화, 고품질, 고신뢰성을 확보 2) 바이오 클린룸(BCR, Biological Clean Room) - 제약공장, 식품공장, 병원 등에서 제품의 오염 방지, 변질 방지 및 환자의 감염 방지를 위해 사용되는 클린룸- 무균에 가까운 상태가 요구 되..
2024. 6. 23.
