[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (7) 클린룸 클린장치
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(7) 클린룸 클린장치스목룸(Smock Room) 1. 스목룸 기능 및 구성• 스목룸(Smock Boom) - 클린룸 입실 전에 작업에 필요한 옷(방진의류)으로 환복하는 공간 - 클린룸 입실 전에 처음으로, 반드시 들르는 공간 2. 클린 락커 (Clean Locker)• 방진복을 비치하는 공간 - 방진복에 묻어있는 각종 오염물질 제거 1) 클린 락커 구성 • 프레임,팬 모터, 제어반, 필터(저성능 필터,중성능 필터, 고성능 필터, 필터 팬 유닛) 2) 클린 락커 동작 흐름 • 클린룸 내부의 청정도 유지를 위한 사전 오염물질 제거 3. 방진 의류• 사람의 몸으로부터 나오게 되는 머리카락, 비듬, 침, 피부 분진 등이 클린룸 내부에서 발생되지 않도록 사전에 방지하..
2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (6) 클린룸 에어필터
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(6) 클린룸 에어필터에어필터의 개요 1. 에어필터의 기능과 사용범위 1) 에어필터 • 어떠한 유체(공기, 기름, 연료, 물 등)를 일정한 시간 내에 일정한 용량을 일정한 크기의 입자로 통과시키는 장치 • 대기 중에 존재하는 분진을 제거하여 필요에 맞는 청정한 공기를 만들어냄 2) 에어필터의 사용범위 2. 에어필터의 구조 1) 프레임(외곽틀)• 합관, 알루미늄 및 강판, 스테인리스강, 플라스틱류 등 사용 2) 여과재(여재)• 유리섬유, 부직포 등 사용 3) 밀봉제• 여과재 전체와 외곽틀 사이를 밀봉하는 재료• 우레탄계, 네오프렌계, 에폭시계 등의 자기소화성 재료 사용 4) 가스킷(Gasket)• 코르크류, 고무합성품류, 네오프렌계 스펀지류 등 사용 5) 분리판• 분리판..
2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (3) 클린룸 공조설비
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(3) 클린룸 공조설비공조설비 개요1. 공기조화의 정의 1) 공기조화 - 인공적으로 어떤 특정한 공간의온도, 습도, 청정도, 기류 등을 주어진 조건으로 상시 제어하는것 2) HAVC - Heating, Ventilation, Air Conditioning(난방, 환기, 공기조화) - 외부의 공기를 이용하여 특정한 내부공간을 최적의 온도, 습도, 기류 등으로 제어하는것 3) 공조의 4대 요소 - 온도 / 습도 / 청정도 / 기류분포 2. 공기조화의 분류 3. 공기관련 용어 설명 1) TAC 온도 - 기술자문위원회(TAC : Technical Advisory Committee) 제안 - 냉난방 설계 외기온도를 결정할 때, 냉난방기간 중 외기설정온도 밖으로 ..
2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (1) 클린룸 개요
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(1) 클린룸 개요 클린룸의 정의 및 분류 1. 클린룸의 정의 - 공기 부유입자의 농도를 일정한 수치 이하로 제어, 입자의 유입, 생성 및 체류를 최소화한 공간 - 온도, 습도, 압력 등이 필요에 맞게 일정하게 제어되는 공간 2. 클린룸의 분류 1) 산업용 클린룸(ICR, Industrial Clean Room) - 전자공장이나 정밀기계공장에서 생산 공정의 청정 환경을 위해 사용되는 클린룸 - 시스템에 대한 정밀화, 소형화, 고품질, 고신뢰성을 확보 2) 바이오 클린룸(BCR, Biological Clean Room) - 제약공장, 식품공장, 병원 등에서 제품의 오염 방지, 변질 방지 및 환자의 감염 방지를 위해 사용되는 클린룸- 무균에 가까운 상태가 요구 되..
2024. 6. 23.
