[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (9) 공조기 유지관리

반도체 장비 시설 운영 Part 1.
(9) 공조기 유지관리

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공조기 유지관리 개요

 

1. 공조기 세부구조 파악하기

1) 기능별 주요 내부구조

 

2) 공조기 내부 세부구조

 

 

2. 공조기 취급 및 운전

 

(1) 공조기 취급 주의사항

• 공조기는 작업상 위험 요소가 많은 장치

① 공조기 관리 및 수리는 반드시 지정된 사람이나 전기 관련 자격증을 가지고 있는 사람이 다루어야 함

② 공조기 수리를 하기 전에는 반드시 전원이 차단되어 있는지 확인해야 함

③ 공조기를 재가동할 때에는 퓨즈들을 먼저 연결한 후 전원을 투입하고 자동제어 반의 ON버튼을 눌러야 함

④ 공조기 재가동 전 압력 게이지들의 압력 상태를 확인해야 함

⑤ 공조기 재가동 전 필터의 장착 상태 및 청결 상태를 확인해야 함

⑥ 히터와 가습기 등을 수리하는 경우 전원 차단 후 퓨즈를 차단해야 함

⑦ 물기나 습기가 있는 상태에서는 공조기를 취급하지 않아야 함

⑧ 정확한 취급 방법을 모르는 경우 현장에 비치된 취급 설명서를 참고하거나 전문가에게 협조를 요청해야 함

⑨ 관리대장을 비치하고 일일 점검, 주간 점검, 월별 점검 등 항목별로 분류하여 체계적으로 관리해야 함

⑩ 공조기실은 항상 청결 상태를 유지하고 다른 사람들의 출입을 제한하여 관리해야 함

 

(2) 공조기 운전 전 점검사항

① 기초 볼트, 폴리와 V-벨트의 장력, 볼트와 베어링의 체결상태 점검

② 점검구(Access Door)가 제대로 닫혀있는지 점검

③ 베어링의 주유상태를 점검

④ 전동기(Motor)의 결선상태 점검

⑤ 덕트와 송풍기 토출구의 연결상태 점검

⑥ 방진장치 상태점검

⑦ 댐퍼의 개방상태 점검

⑧ 송풍기 내부점검 및 공조기 내부점검(이물질 검사)

⑨ 가습시스템이 전자전극봉식과 팬 타입(PAN TYPE)인 경우 급수가 원활한지 확인

 

(3) 공조기 자동제어 운전 방법 및 순서

• 공조기는 대부분 자동제어 시스템으로 운전

 

(4) 공조기 이상 및 경보 조치 과정

• 공조기 자동제어 시스템은 비상 경보 기능을 갖춤

 

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공조기 고장진단과 대책

 

1. 공조기 정기점검

• 공조기 동작 확인 위해 자동제어 시스템을 수시로 모니터링 한다.

 

2. 공조기 고장진단 점검

1) 가습영역

2) 열교환 영역

3) 필터 영역

 

4) 송풍 영역

5)케이싱

6) 부속장치

 

3. 공조기 유지관리 실무 매뉴얼

• 기본적이면서도 일반적인 점검 및 수리는 할 수 있어야 함

• 공조기(AHU) 관리 매뉴얼

• 가습기 관리 매뉴얼

• 자동제어 모니터링 관리 매뉴얼