728x90 반응형 반도체/반도체 후공정11 [반도체 후공정] (11) 반도체 패키지 신뢰성(Reliability) / 결함(Defect)와 고장(Failure)의 차이 / JEDEC표준 / EFR / 프리컨디셔닝 반도체 후공정 (11) 반도체 패키지 신뢰성- SK 하이닉스 뉴스룸 #1. 신뢰성의 의미 ‘반도체의 품질’은 제품의 정해진 요구 기준과 특성 충족 여부에 따라 규정할 수 있다. 그리고 ‘반도체 신뢰성’은 이러한 충족된 품질이 보장된 기간 동안 기능을 잘 수행할 수 있는지를 나타내는 척도이다. 즉, 신뢰성은 제품의 시간적 안정성을 나타내는 개념으로, 제품의 품질을 고장 없이 일정 기간 유지해 고객 만족도를 확보하는 성질이다. 제품을 만들고 검사하는 도중 발생하는 불량은 결함(Defect)이라고 하고, 실제 사용 중 발생된 불량은 고장(Failure)이라고 정의한다.결함이 많으면 품질이 나쁜 것이고, 고장이 기준보다 빨리 나거나 빈도가 많으면 신뢰성이 나쁜 것이다.▲ 표 1. 품질과 신뢰성의 차이점(ⓒ한올출.. 2024. 7. 21. [반도체 후공정] (10) '반도체 패키지'의 역할과 재료(2) / 웨이퍼 레벨 패키지 / PR / 도금용액 / PR 스트리퍼 / 에천트(Etchant) / 스퍼터타깃 / 언더필 / 캐리어와 접착제(TBA) 반도체 후공정 (10) '반도체 패키지'의 역할과 재료(2)- SK 하이닉스 뉴스룸패키지별 재료의 특성에 관해 알아보는 두 번째 시간이다.이번 시간에는 웨이퍼 상태에서 패키지 공정을 진행하는 ‘웨이퍼 레벨 패키지’ 재료에 대해 설명하겠다.#1. 포토 레지스트(Photo Resist, PR)포토 레지스트는 용해 가능한 고분자와 빛 에너지에 의해 분해 또는 가교(결합, 연결) 등의 화학적인 반응을 일으키는 물질을 용매에 녹인 혼합 조성물이다. 웨이퍼 레벨 패키지 공정에서는 포토 공정에서 구현하고자 하는 패턴(Pattern)을 형성하고, 뒤이어 진행되는 후속 전해도금 공정에서 포토 레지스트가 없는 부분에 도금으로 금속 배선을 형성하는 배리어(Barrier) 역할을 한다. 포토 레지스트는 과 같은 물질로 구성되.. 2024. 7. 21. [반도체 후공정] (9) ‘반도체 패키지’의 역할과 재료(1) / 리드프레임 / 서브스트레이트 / EMC / PSA / T&R 반도체 후공정 (9) ‘반도체 패키지’의 역할과 재료(1)- SK 하이닉스 뉴스룸자연적, 화학적, 열적 환경으로부터 칩소자를 보호하기 위해서는 ‘반도체 패키지’ 환경 테스트에서 높은 신뢰성이 요구된다. 이는 ‘반도체 패키지’ 재료와 밀접히 관련 있는 부분이다. 또한, 하이스피드(High Speed)에 따라 패키지 내 서브스트레이트(Substrate)의 저유전율*, 저유전손실율* 등 패키지 재료의 전기적 특성의 요구가 높아지는 추세다. 그래서, 전력 반도체나 CPU, GPU 같은 로직 반도체에서뿐만 아니라, 최근에는 메모리 반도체에서도 열 방출 기능과 관련해서 열전도가 좋은 재료에 대한 요구가 이어지고 있다.이와 같이 ‘반도체 패키지’ 재료는 반도체 산업 동향에 발맞추고 제품의 기능을 개선하기 위해 반드시.. 2024. 7. 21. [반도체 후공정] (8) 웨이퍼 레벨 패키지 공정 2 / WLCSP / 솔더 볼 마운팅 / WSS / CoWoS / CoCoS 반도체 후공정 (8) 웨이퍼 레벨 패키지 공정 2- SK 하이닉스 뉴스룸#1. 팬인(Fan in) WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package) 공정팬인 WLCSP는 웨이퍼 테스트가 끝난 웨이퍼가 패키지 라인에 입고되면, 먼저 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 금속 박막층을 만든다.그리고 그 위에 포토 레지스트(Photo Resist)를 두껍게 도포하는데(Thick PR Coating),패키지용 금속 배선 형성을 위해서는 그 배선 두께보다 포토 레지스트가 두꺼워야 하기 때문이다.포토 레지스트는 포토 공정으로 패턴을 만들고,패턴이 되어 열린 부분에 전해도금으로 구리(Cu)를 도금하여 금속 배선을 형성한다(Cu Electro-plating).배선이 형성되면 포토 레지스트를 벗겨주고.. 2024. 7. 18. [반도체 후공정] (7) 웨이퍼 레벨 패키지 공정 / 팬인 / 팬아웃 / RDL / 플립칩 / TSV패키지 반도체 후공정 (7) 웨이퍼 레벨 패키지 공정- SK 하이닉스 뉴스룸 웨이퍼 레벨 패키지는 웨이퍼 상태에서 패키지 공정을 진행하는 것을 뜻한다.대표적으로 전체 공정을 웨이퍼 상태에서 진행하는 ▲팬인(Fan in) WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package),▲팬아웃(Fan out) WLCSP가 있고, 전체 패키지 공정의 일부를 웨이퍼 상태로 진행하는▲RDL(ReDistribution Layer) 패키지,▲플립 칩(Flip Chip) 패키지,▲TSV 패키지도 넓은 의미에서는 웨이퍼 레벨 패키지 범주에 들어간다. 패키지 타입에 따라 전해도금*으로 형성되는 금속의 종류와 패턴의 차이만 있고, 유사한 순서로 진행한다.일반적인 공정 순서를 설명하겠다. * 전해도금 : 양극판에서 산화반응이.. 2024. 7. 17. [반도체 후공정] (6)컨벤셔널 패키지 공정 / 백그라인딩 / 웨이퍼 절단 / 다이어태치 / 인터커넥션 / 몰딩 / 마킹 / 솔더 볼 마운틴 / 싱귤레이션 반도체 후공정(6)컨벤셔널 패키지 공정- SK하이닉스 뉴스룸은 컨벤셔널(Conventional) 패키지* 중 플라스틱(Plastic) 패키지 공정의 순서를 나타낸 것이다.리드프레임 타입 패키지와 서브스트레이트 타입의 공정 전반부는 비슷하다.하지만 후반부 연결 핀 구현 방법의 차이 때문에 공정도에 차이가 생긴다. * 컨벤셔널 패키지 : 웨이퍼를 칩 단위로 먼저 잘라서 진행하는 패키지 공정. 참고로 웨이퍼 레벨 패키지는 웨이퍼 상태에서 먼저 패키지 공정을 일부 진행 후 자르는 공정을 의미. (자세한 내용은 3편 참조)▲ 그림 1 : 컨벤셔널 패키지 공정 순서(ⓒ한올출판사) 테스트 완료된 웨이퍼가 패키지 라인에 도착하면 먼저 백 그라인딩으로 원하는 두께가 될 때까지 갈아낸다(Back Grinding).그리고,.. 2024. 7. 16. 이전 1 2 다음 728x90 반응형
