[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (10) 클린룸 운영관리

반도체 장비 시설 운영 Part 1.
(10) 클린룸 운영관리

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클린룸 유지관리 개요

 

1. 클린룸 유지관리 항목 분류

 

2. 클린룸 유지관리 기본 원칙

 

1) 유입침투 방지

 • 오염물질(먼지) 유입 차단

 - 사람은 에어샤워(Air Shower)를 통하여 클린룸에 입실

 - 물품은 패스박스(Pass Box)를 통하여 반입

 - 사람 출입구 및 물품 반입구는 이중문을 사용

 - 설비 및 원·부자재 반입시 오염물질 제거 작업 실시

 - 클린룸에 필터(Filter)로 여과된 청정공기의 공급

 - 클린룸의 정압 유지

 - 덕트에서의 청정공기 누설방지

 

2) 발생 방지

• 오염물질(먼지) 발생 차단

 - 청정실용 방진의복 착용

 - 청정 필기구 사용(무진 종이, 무진 볼펜 등)

 - 저발진성 재료 사용

 - 클린룸에서 불필요한 말, 행동 금지

 - 청정도 등급에 맞는 기자재 사용 

 - 클린룸 출입 인원 제한

 

3) 집적 방지

• 오염물질(먼지) 누적 차단

- 기준에 맞는 청소 실시

- 청소하기 어려운 구석이나 장비의 주변을 만들지 않음

- 덕트, 배관류의 실내 노출 최소화

- 생산장비 및 기자재의 요철 부위 최소화

 

4) 신속 배제

• 오염물질(먼지) 즉시 제거

- 주기적인 클린룸 설비 및 생산장비 청소 실시

- 적정한 청정공기의 환기 횟수 유지

- 제품 또는 자재 파손시 즉시 청소 실시

- 클린룸 자재/비품의 정리 정돈

- 공정구역 및 제품 보관 장소의 청정화 유지

- 출입 동선에 방진매트 설치

 

(1) 클린룸 유지관리 원칙 적용 예시

 

 

 

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클린룸 유지관리

 

1. 스목룸(Smock Room)

1) 스목룸 청정도 유지 및 공조방식

• 스목룸 실내 압력

 - 외기압력 < 스목룸 실내 압력 < 클린룸 실내 압력

 - 차압조정 댐퍼에 의해 규정된 실내 압력 유지

 

 

• 스목룸용 별도 공조기와 필터

 - 스목룸용 별도의 공조기 설치

 - 중성능 필터나 고성능 필터 설치

 - 클린룸과 성능이 같거나 낮은 것을 사용

 

• 스목룸의 청정도 클래스(Class)

 

2. 방진의류 관리

1) 방진의류의 분류

(1) 방진의류 필수조건

• 방진복

 - 소정 작업, 세탁 및 기타 청정 처리 실시 후 발진이 적은 것 

 - 난연성, 의복 자체에서 발생되는 먼지가 적고 먼지가 잘 통과 하지 않는 직물

 - 정전기 발생 및 대전성이 적으며, 오염물이 잘 부착되지 않는 것

 - 세탁 가능하며, 세탁 후 발진성과 정전기 발생이 적은 것

 - 활동하기 좋으며 가급적 간편한 디자인, 봉목이 적은 것

 - 봉재는 의복과 같은 재질의 합성 섬유 실 사용, 세탁 후 실이 떨어지지 않고 보푸라기 등이 일어나지 않게 재봉

 - 지퍼 사용

 - 작업자당 3조의 의복 준비(사용/세탁/예비용)

 

• 후드

 - Class 1,000 이상의 클린룸에서 사용 

- 눈 또는 얼굴 표면을 제외하고는 목부터 머리까지 완전히 감쌀 수 있는 것 

 - 커버올 지퍼를 잠갔을 때 작업자의 머리를 완전히 덮을 수 있는 것

 

• 방진모자

 - Class 10,000 및 100,000 이상의 클린룸에서 사용

 - 병원의 수술실에서 쓰는 것과 같은 스타일 

- 머리카락을 전부 덮어서 머리에 꼭 맞고, 쓰기에 편리한 것

 

• 방진화 

- 보통의 실내화는 사용하지 않음 

 - 클린룸 전용 방진화, 부츠, 신발 커버 등은 세탁 가능하고, 신발 바닥은 비닐제 사용 

 - 발에 잘 맞고, 벗고 신는데 편리한 것

 - 부츠 끝 또는 발목 위치에 적당한 폭의 고무밴드를 붙여야 함 

 - 부츠는 커버올의 밑부분을 접어서 충분히 들어갈 수 있는 높이 

 - 바닥에서 미끄러지거나 넘어지는 것을 방지

 - 원단은 얇은 고무 또는 비닐제 사용

 

3. 작업자 입퇴실관리

 

1) 클린룸 입실 관리

(1) 클린룸 입실 절차

① 입구에서 신발 벗기

② 일반 락커룸에서 입고 있는 겉옷을 벗음

③ 클린 락커에서 손을 세척하고 건조한 후 방진복, 방진마스크 등을 입음

④ 방진장갑을 착용

⑤ 에어샤워를 통해 오염물질 제거

⑥ 클린룸 입실

 

2) 클린룸 입실시 주의사항

① 외부로부터의 오염물 반입 및 오염물의 발생을 최대한으로 막아야 함

② 현관에서 관리 구역으로 입실할 때는 실내화로 교체

③ 사복 및 사물은 지정된 장소에 보관 후 지정 의복으로 환복하고, 화장, 매니큐어 등은 지움

④ 탈의실에 들어오기 직전에 실내화 등을 벗고 신발장에 넣음

⑤ 탈의실에서는 청정 구역의 청정도에 맞는 방법으로 탈의하고 정해진 옷장에 넣음

⑥ 세면실에서는 청정한 물로 손을 씻은 후 청정한 공기로 건조시킴

⑦ 클린룸용 의복은 바닥이나 물건과 접촉시키지 않고 입음

⑧ 방진복 착용 후 방진화 등을 착용하고, 손 세척 및 건조 후 점착매트 통과 ⑨ 에어샤워를 통해 오염물 제거 후 클린룸에 입실

 

• 입실 금지 대상자

 -  청정 의복을 규정에 따라 착용하지 않은 사람

 -  휴식시 땀이 날 정도로 과격한 운동을 한 사람

 -  흡연 후 10분 이상 경과되지 않은 사람

 -  습진이나 할퀸 상처가 있는 사람

 -  화학 섬유에 의한 알레르기성 체질인 사람

 -  코에 분비물이 많은 사람

 -  감기, 천식으로 기침이나 재채기를 하는 사람

 -  보통 사람 이상으로 피부 각질이 심한 사람

 -  머리나 피부를 당긴다든가 잘 긁는 버릇이 있는 사람

 

• 반입 금지 물품

- 담배, 성냥, 라이터류

-  음실물, 껌 사탕류

- 보석, 장식품, 화장품류

- 지갑, 열쇠, 시계, 휴지

 

3) 클린룸 퇴실 관리

(1) 클린룸 퇴실 절차

① 클린룸에서 의복 교체 구역에 들어갈 때까지는 클린룸용 의복을 벗지 말 것

② 교체 구역에서 우선 클린룸용 신발을 벗고 정해진 곳에 넣을 것

③ 클린룸용 의복은 바닥, 책상 등의 비품에 접촉되지 않게 벗고 정해진 장소에 오염되지 않도록 보관할 것

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클린룸 운전 및 점검기록

 

1. 클린룸 운전 및 정지

 

• 클린룸 운전 및 정지 방침 

 - 클린룸의 운전은 작업 개시 전에 각각의 청정실이 규정된 청정도 등급에 이르기까지 예비 운전할 것 

 - 클린룸은 작업 종류 후의 청소 작업이 끝난 다음 클린룸이 규정 된 청정도 등급으로

   회복된 후에 운전을 정지할 것 단, 제품의 보호를 위해 일부 운전을 게속할 수 있음 

 -  화재, 지진 등 이상 사태 발생 시에는 운전을 정지할 것 

 - 클린룸의 운전 기록은 운영 관리자 또는 담당자가 작성하고 정기적으로 점검할 것

 

2. 클린룸 점검기록 관리

 

1) 클린룸 점검기록 내용 및 방법

 

• 공조 설비 

 - 클린룸 청정도, 풍속, 풍량, 실내 압력, 온도, 습도 등의 정상 상태 확인 

 - 수시 점검으로 이상 발견시 원인 조사 및 즉시 조치 후 기록 보존 하여 향후 대비 

 - 월 1회 이상 기능 점검, 이상 유무 확인 및 기록 • 위생 설비

 - 연 1회 이상 기능 점검, 이상 유무 확인 및 기록

 

• 안전 설비 

-   월 1회 이상 안전 설비의 유효기간 등 확인 

- 필요에 따라 점검 기록

- 이상 발견시 규정에 의해 신속히 정비

 

• 점검/수리 내역 

- 작업 완료 후 설비 및 장치의 점검·수리 교환 등 실시 

- 실시 연월일, 소요시간, 수리·점검의 내용 및 시공자의 책임 등 기록 

- 운영 관리자가 기록 확인

 

• 예비품 정비 내역 

- 신발 클리너(Cleaner), 점착매트, 이동식 진공 청소기용 필터, 세면기, 자동식 핸드 드라이버 등 

- 청정화용 기기의 부품 교환 및 수리를 위해 예비 부품을 정기적 으로 확인 

- 부족분 보충하고 일지에 기록

 

• 청소 내역

- 시설의 청소는 클린룸 시설의 청정화에 따라 실시

- 작업 종료 후 점검 확인하여 일일 작업 내용 기록