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[STEP 한국기술대학] 반도체 제조 공정 장비 운영 - (6) Track 주요 모듈 반도체 제조 공정 장비 운영(6) Track 주요 모듈 Track 장비의 주요 구성 모듈표면처리 모듈, 감광액 도포 모듈, 현상 모듈, 열처리 모듈이 핵심 1. Track 장비 시스템 구성 - C/S 동작 패널(Carrier Station) : 웨이퍼 스테이지와 C/S를 제거하는 패널- 웨이퍼 스테이지 : 공정이 진행될 웨이퍼를 In/Out 하는 부분- C/S ARM : 케리어에서 메인 공정 장소로 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 암 부분- P/S 동작 패널(Process Station) : 공정을 제어하는 패널- WEE (Wafer Edge Exposure) :  ID 부분의 감광막을 제거하는 부분- I/F 동작 패널(Interface) : 노광기와 Track 간의 이동을 제어하는 패널- 인터페이스실 : 노.. 2024. 6. 24.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (12) 클린룸 환경관리 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(12) 클린룸 환경관리클린룸 오염환경 1. 파티클(Particle) • 파티클(Particle) - 공기 혹은 가스나 액체에 존재하는 고체성 물질  - 1μm보다 큰 것은 미립자(Dust), 1μm보다 작은 것은 먼지 - 보통 클린룸 설비 관련해서는 편의상 먼지, 또는 입자라 부름  - 1μm = 10-6 m = 1/1,000,000m  - 연기/안개 = 1.0μm, 미세 스프레이 최소 방울 = 10μm, 머리카락 = 100μm • 파티클(먼지)의 크기 - 직경을 고려하여 가장 긴 쪽을 먼지 크기로 정의  - 0.1μm, 0.3μm, 0.5μm, 1μm, 3μm, 5μm 등으로 분류 1) 파티클(먼지) 개수 측정• 파티클 카운터(Particle Counter) - 대.. 2024. 6. 24.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (11) 클린룸 공정실관리 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(11) 클린룸 공정실관리클린룸 인적관리 1. 사람에 의한 오염 발생 1) 일반 공간 내 행동 2) 화장품에 의한 먼지 발생 3) 상태에 의한 먼지 발생 4) 공정실 내 행동에 의한 먼지 발생 2. 클린룸 공정실에서의 행동요령 1) 공정실 입실 전 행동요령 • 규정된 방진의복 착용, 방진복 착용 상태 항상 확인• 1회용 방진의류는 재사용하지 않음• 반드시 에어샤워를 통해 입실• 입실 전 화장, 매니큐어 지우기• 반입하는 모든 물품은 먼지를 털어내고 닦아냄• 흡연, 껌 또는 음식물 반입 및 섭취 금지• 필요한 서류는 코팅 또는 밀봉해서 반입 2) 공정실에서의 행동 요령 • 공정실에 있는 동안 모든 방진의류는 완전한 상태를 유지한 채 착복할 것• 불필요한 대화 또는 말하지.. 2024. 6. 24.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (10) 클린룸 운영관리 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(10) 클린룸 운영관리클린룸 유지관리 개요 1. 클린룸 유지관리 항목 분류 2. 클린룸 유지관리 기본 원칙 1) 유입침투 방지 • 오염물질(먼지) 유입 차단 - 사람은 에어샤워(Air Shower)를 통하여 클린룸에 입실 - 물품은 패스박스(Pass Box)를 통하여 반입 - 사람 출입구 및 물품 반입구는 이중문을 사용 - 설비 및 원·부자재 반입시 오염물질 제거 작업 실시 - 클린룸에 필터(Filter)로 여과된 청정공기의 공급 - 클린룸의 정압 유지 - 덕트에서의 청정공기 누설방지 2) 발생 방지• 오염물질(먼지) 발생 차단 - 청정실용 방진의복 착용 - 청정 필기구 사용(무진 종이, 무진 볼펜 등) - 저발진성 재료 사용 - 클린룸에서 불필요한 말, 행동 금지 .. 2024. 6. 24.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (9) 공조기 유지관리 반도체 장비 시설 운영 Part 1. (9) 공조기 유지관리공조기 유지관리 개요 1. 공조기 세부구조 파악하기1) 기능별 주요 내부구조 2) 공조기 내부 세부구조  2. 공조기 취급 및 운전 (1) 공조기 취급 주의사항• 공조기는 작업상 위험 요소가 많은 장치① 공조기 관리 및 수리는 반드시 지정된 사람이나 전기 관련 자격증을 가지고 있는 사람이 다루어야 함② 공조기 수리를 하기 전에는 반드시 전원이 차단되어 있는지 확인해야 함③ 공조기를 재가동할 때에는 퓨즈들을 먼저 연결한 후 전원을 투입하고 자동제어 반의 ON버튼을 눌러야 함④ 공조기 재가동 전 압력 게이지들의 압력 상태를 확인해야 함⑤ 공조기 재가동 전 필터의 장착 상태 및 청결 상태를 확인해야 함⑥ 히터와 가습기 등을 수리하는 경우 전원 차단 후.. 2024. 6. 24.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (8) 클린룸 부속장치 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(8) 클린룸 부속장치패스박스 1. 패스박스의 기능 • 패스박스(Pass Box) - 클린룸과 외부 또는 청정도가 서로 다른 구역과의 경계에 설치 - 사람이 출입하지 않고도 물품의 출입을 가능하게 함 - 오염공기의 유입이나 청정공기의 유출을 막음 2. 패스박스의 종류 1) 표준형 패스박스• 클린룸용으로 제일 많이 사용• Interlock- 한쪽의 문을 열면 반대측의 문이 열리지 않음• UV Lamp- 물품의 표면에 쬐어 살균 2) 에어샤워형 패스박스• 초속 이상의 풍속으로 청정공기를 쏘여 표면에 부착된 분진입자 제거• 오염 공기를 흡입구로부터 저성능 필터와 고성능 필터를 거쳐 정화한 후 토출 노즐로서 뿜어내며 순환 3. 패스박스의 구조 1) 표준형 패스박스의 구조2) .. 2024. 6. 23.
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