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[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (7) 클린룸 클린장치 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(7) 클린룸 클린장치스목룸(Smock Room) 1. 스목룸 기능 및 구성• 스목룸(Smock Boom) - 클린룸 입실 전에 작업에 필요한 옷(방진의류)으로 환복하는 공간 - 클린룸 입실 전에 처음으로, 반드시 들르는 공간 2. 클린 락커 (Clean Locker)• 방진복을 비치하는 공간 - 방진복에 묻어있는 각종 오염물질 제거  1) 클린 락커 구성 • 프레임,팬 모터, 제어반, 필터(저성능 필터,중성능 필터, 고성능 필터, 필터 팬 유닛)  2) 클린 락커 동작 흐름 • 클린룸 내부의 청정도 유지를 위한 사전 오염물질 제거  3. 방진 의류• 사람의 몸으로부터 나오게 되는 머리카락, 비듬, 침, 피부 분진 등이   클린룸 내부에서 발생되지 않도록 사전에 방지하.. 2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (6) 클린룸 에어필터 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(6) 클린룸 에어필터에어필터의 개요 1. 에어필터의 기능과 사용범위 1) 에어필터 • 어떠한 유체(공기, 기름, 연료, 물 등)를 일정한 시간 내에 일정한 용량을 일정한 크기의 입자로 통과시키는 장치 • 대기 중에 존재하는 분진을 제거하여 필요에 맞는 청정한 공기를 만들어냄 2) 에어필터의 사용범위 2. 에어필터의 구조 1) 프레임(외곽틀)• 합관, 알루미늄 및 강판, 스테인리스강, 플라스틱류 등 사용 2) 여과재(여재)• 유리섬유, 부직포 등 사용 3) 밀봉제• 여과재 전체와 외곽틀 사이를 밀봉하는 재료• 우레탄계, 네오프렌계, 에폭시계 등의 자기소화성 재료 사용 4) 가스킷(Gasket)• 코르크류, 고무합성품류, 네오프렌계 스펀지류 등 사용 5) 분리판• 분리판.. 2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (5) 공조기 자동제어 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(5) 공조기 자동제어자동제어 개요 1. 자동제어 구성 기초 요소  1) 시퀀스 제어 (sequence control)   •  제어동작이 정해진 순서에 따라 순차적으로 진행  • 수관식 보일러의 연소안전장치 (프리퍼지, 연료 및 공기 공급, 착화, 연소)등과 같이 출력과 무관하게     진행 장비를 작동 시킬 때 장비특성에 알맞도록 짜여지는 작동 프로그램  2) 피드백 제어 (feedback control) • 되돌림 제어라고 하며 출력값을 입력값과 비교하여 출력값을 설정한 목표값에 도달하도록 제어 • 정해진 목표값을 유지하도록 입력값과 출력값을 계속 비교하여 조작량을 제어대상에 보내는 것 (온도, 압력, 수위, 제어 등) • 폐쇄 루프 제어(Closed Loop C.. 2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (4) 클린룸 공조기(AUH) 반도체 장비 시설 운영 Part 1. (4) 클린룸 공조기(AUH)공조기 개요 1. 공조기의 정의와 기능 1) 공기조화기 (Air Conditioner Unit)  - AHU (Air Handling Unit)  - 특정한 공간의 온도, 습도, 공기흐름, 청정상태 등을 항상 최적의 환경 으로 유지시켜 주는 장치   - 공조설비에서 아주 중요한 역할 담당  2. 공조기의 분류  - 용도에 따라서 2개 이상의 공조기 설치 - 덕트는 공기의 공급, 환기, 배출 통로 공조기 구조 및 기능 1. 전체 구성도 2. 공기의 흐름3. 댐퍼 영역 (Damper Part) 1) 댐퍼  • 이너(Inner) 댐퍼 : 내부의 공기를 흡입  • 아우터(Outer) 댐퍼 : 외부의 공기를 흡입  • 어떤 공기를 얼마만큼 흡입시킬.. 2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (3) 클린룸 공조설비 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(3) 클린룸 공조설비공조설비 개요1. 공기조화의 정의 1) 공기조화  - 인공적으로 어떤 특정한 공간의온도, 습도, 청정도, 기류 등을 주어진 조건으로 상시 제어하는것  2) HAVC  - Heating, Ventilation, Air Conditioning(난방, 환기, 공기조화)  - 외부의 공기를 이용하여 특정한 내부공간을 최적의 온도, 습도, 기류 등으로 제어하는것  3) 공조의 4대 요소  - 온도 / 습도 / 청정도 / 기류분포 2. 공기조화의 분류  3. 공기관련 용어 설명 1) TAC 온도  - 기술자문위원회(TAC : Technical Advisory Committee) 제안  - 냉난방 설계 외기온도를 결정할 때, 냉난방기간 중 외기설정온도 밖으로 .. 2024. 6. 23.
[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (2) 클린룸 설비구조 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(2) 클린룸 설비구조반도체설비 클린룸의 일반적 구조 1. 반도체 FAB 공정  1) FAB의 정의  - Fabrication Facility의 약자로 일종의 실리콘 웨이퍼 제조 공장을 말함   - 먼지와 소음, 자장 등으로부터 적절하게 보호   - 용도에 맞게 제어할 수 있는 실험실을 팹(FAB)이라고 부르기도 함   - FAB = 클린룸 = 청정실   2) FAB의 공정   -> 학부시절 진행했던 Perovskite Solar Cell 의 제작 과정과 크게 다르지 않다. 2. 반도체 FAB 구성 - 클린룸 본실, 공조 솔비, 유틸리티 설비, 부속 설비, 배기 설비 등 5가지로 구성됨 주요시설 및 장비 소개 1. 클린룸 본실  1) 반도체 장비 공정  - 셀 제조 공.. 2024. 6. 23.
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