[삼성전자] FDSOI(Fully Depleted SOI)

PDSOI와 FDSOI: SOI 기술의 이해

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출처: 삼성전자 뉴스룸

• SOI의 유형
  • PDSOI(Partially Depleted SOI)와 FDSOI(Fully Depleted SOI)는 Box와 채널용 단결정 실리콘의 두께에 따라 구분된다.
• PDSOI의 장단점
  • PDSOI는 주로 전력소자 등의 아날로그 제품에 사용된다.
  • 장점: Junction을 통한 누설 전류를 차단 가능하고, Capacitance 감소
  • 단점: Floating body effect로 인한 Hysteresis 및 Kink effect 발생한다.
• FDSOI의 장점
  • FDSOI는 PDSOI에 비해 더 많은 장점을 가진다.
  • UTB SOI 구조로, 채널 누설 전류를 줄이는 효과가 있다.
  • 게이트의 채널 컨트롤 능력이 우수하여 short-channel effects를 줄일 수 있다.
• FDSOI의 한계점
  • Self-heating effect로 인해 채널 전류 감소가 발생할 수 있다.
   

출처: 삼성전자 뉴스룸

삼성전자 파운드리는 FDSOI 기술을 적극 채용하여 28나노 FDSOI 공정 기반 제품을 개발하고 있으며, 앞으로도 미래를 위한 기술 개발에 주력하여 반도체 업계를 선도해 나갈 것으로 전망된다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

출처:

1. https://semiconductor.samsung.com/kr/news-events/tech-blog/fd-soi-the-disruptive-innovation-samsung-foundry-is-leading-to-overcome-the-limits/

 

FD-SOI, 세상을 뒤집어 한계를 극복하는 파운드리 사업부의 솔루션 | 삼성반도체