[STEP 한국기술대학] 반도체 제조 공정 장비 운영 - (16) CMP 장비 유지 보수 방법

반도체 제조 공정 장비 운영
(16) CMP 장비 유지 보수 방법

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*PM 관련 사항은 전편 참고

 

CMP 장비 유지 보수 항목

 

1. PM 주기 및 항목

- 소모성 파트

- RPM(플레이튼, 헤드, 패드컨디셔너), 슬러리 유량, 압력(다운 포스, 배압, 디스크),

각 구성품의 수명, 필터 등

 

2. 장비 유지보수 항목