[STEP 한국기술대학] 반도체 제조 공정 장비 운영 - (12) Cleaning 장비 유지 보수 방법

반도체 제조 공정 장비 운영
(12) Cleaning 장비 유지 보수 방법

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예방 및 점검의 이해

 

PM: Preventive Maintenance 장비의 성능유지, 고장 방지 -> 수명 연장, 생산성 향상

- 주기적인 예방 점검 항목 인지, 일정 절차에 따라 실시

- 일지 작성

- 원인 분석 미 영향 평가

- 보고서 작성

- 이상 발생 시 조치

- 통계적 분석을 활용해야함

 

 - Daily 일일 유지 보수

 

주기는 필요에 따라 변경할 수 있으며 문제 발생 시 점검을 해야함

 

- Monthly 유지 보수

로드 락 모듈 각종 센서 및 게이지

펌프 오일, 펌프 전류자

 

- 분기별 유지 보수

가스 유량 등 확인

 

- 반기별 유지 보수 Half Year

누수 확인, 구동부 단자 확인, Auto Door Safety Sensor 확인

 

- 연간 유지 보수 Annually