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반도체 제조 공정 장비 운영
(16) CMP 장비 유지 보수 방법
*PM 관련 사항은 전편 참고
CMP 장비 유지 보수 항목
1. PM 주기 및 항목
- 소모성 파트
- RPM(플레이튼, 헤드, 패드컨디셔너), 슬러리 유량, 압력(다운 포스, 배압, 디스크),
각 구성품의 수명, 필터 등
2. 장비 유지보수 항목
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