반도체 제조 공정 장비 운영
(4) 확산 장비 유지 보수방법
예방 및 점검의 이해
1. 확산 장비의 가동률을 증가시켜 생산량을 확보하기 위해서
- 확산 장비에 대한 적절한 유지 보수가 필요함
- 각 모듈과 파트의 교환주기, 보정주기, 점검주기 등 세부항목을 선정 및 관리, 보완의 활동을 계속해야 함
- 주어진 Spec을 철저히 준수하고 절차에 따라 유지보수를 시행
- 임의의 행동으로 조치하거나 변경해서는 안 됨
2. 예방정비(PM)의 개념
- PM(Preventive Maintenance): 장비의 성능을 유지시키고, 고장의 발생을 사전에 방지하는 활동으로
장비의 수명을 연장하고 생산성을 향상시킴
- 성능 점검, 부품 교체 및 수리, 청소를 통해 장비가 원하는 성능으로 가동될 수 있도록 하는 활동
3. 예방정비(PM)의 활동 내용
- 주기적인 예방 점검 항목을 인지하고 일정과 절차에 따라 실시
- 기준에 맞지 않는 사항의 경우 고장 또는 이상 발생에 대한 조치 실시
- PM 일지 작성
- 고장, 이상의 원인 분석 및 영향 평가
- 조치 사항 및 결과와 대책을 정리하여 보고서 작성
4. 예방정비(PM) 활동의 유의점
- 항목, 실시 방법, 주기 등이 부적절하거나 비경제적일 경우 더 나은 방법으로 적용할 것
- 기준의 변경 등으로 현행의 PM 방법을 수정할 필요성이 발생한 경우 ISO가 규정한
표준변경 절차에 따라 변경함
5. 통계적 분석 활용
- PM 활동의 Data를 축적하고 통계적으로 해석
- 이상값과 추세 등을 진단 및 예측하며 보고를 통해 정보 공유
- 과학적이고 체계적인 장비 유지/ 개선 사례 및 노하우 축적
확산 장비 유지 보수 방법
1. 일일 유지 보수(Daily)
- 냉각수 유량 확인
- 배기량 확인(열배기)
- 구동용 AIR 압력 확인
- 공저 가스 압력 확인
- 희석용 N₂ 유량 확인
- 가스 캐비넷 배기 확인
- 펌프용 냉각수 유량 및 펌프 N₂ PURGE 유량 확인
- 제어계통 확인
2. 월간 유지 보수(Monthly)
- 펌프 오일 확인
- 펌프 전류자 확인
3. 분기별 유지 보수(3개월)
- MFC(Mass Flow Controller), MFM(Mass Flow Meter) 동작 확인
- 자동기계의 구동 Air 압력의 확인 및 조정
- LOADING JIG의 상태 확인
- 냉각수 유량 저하 ALARM의 동작 확인
4. 반기별 유지 보수(6개월)
- 누수 확인
- 히터 단자 확인
- AUTO DOOR SAFETY SENSOR의 동작 확인
- BOAT Elevator Z축 BREAKER SENSOR 동작 확인
- 히터 단자 절연저항 측정
5. 연간 유지 보수 (Annually)
- 외부 열전대 (T/C) 교환
- 장비 Clean AIr Flow 동작 확인
- Cassette Transfer 검사
- Boat Elevator / Main Controller 확인
