728x90 반응형 spin coating1 [포토공정] Photo Resist Coating Photo Resist Coating감광제 (Photo Resist) PR은 무른 막질이기 때문에 스핀 코팅 (Spin Coating) 방식으로 도포가 가능하다. PR 코팅이라고도 하는데,웨이퍼 가운데 PR을 도포 후 웨이퍼를 빠르게 회전시키는 방법으로 코팅하는 방식이다. 웨이퍼 표면에 defect이 있을 수 있고 PR이 외부로 튕겨 날아가며 defecr source로 작용할 수도 있다.그럼에도 spin coating은 빠르고, 비용이 작다는 장점이 있다.Chemical Vapor Deposition, Diffusion등 막질을 만드는 타 방식은 시간과 비용이 많이 소요된다. 하지만 spin coating은 식각을 했을때 식각 프로파일이 깔끔하지 않은 경우가 있다고 한다. 스핀 코터의 구.. 2024. 7. 30. 이전 1 다음 728x90 반응형
