728x90 반응형 cleaning 장비 유지 보수1 [STEP 한국기술대학] 반도체 제조 공정 장비 운영 - (12) Cleaning 장비 유지 보수 방법 반도체 제조 공정 장비 운영(12) Cleaning 장비 유지 보수 방법예방 및 점검의 이해 PM: Preventive Maintenance 장비의 성능유지, 고장 방지 -> 수명 연장, 생산성 향상- 주기적인 예방 점검 항목 인지, 일정 절차에 따라 실시- 일지 작성- 원인 분석 미 영향 평가- 보고서 작성- 이상 발생 시 조치- 통계적 분석을 활용해야함 - Daily 일일 유지 보수 주기는 필요에 따라 변경할 수 있으며 문제 발생 시 점검을 해야함 - Monthly 유지 보수로드 락 모듈 각종 센서 및 게이지펌프 오일, 펌프 전류자 - 분기별 유지 보수가스 유량 등 확인 - 반기별 유지 보수 Half Year누수 확인, 구동부 단자 확인, Auto Door Safety Sensor 확인 - 연간 유.. 2024. 6. 25. 이전 1 다음 728x90 반응형
