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Fab, clean room, 클래스, FOUP, OHT
Fab
Fabrication을 줄인 말로 반도체 제조 시설
클린룸(Clean room)
반도체 생산라인 내부
클래스
공간의 청정도를 나타내는 척도
클래스는 가로, 세로, 높이가 각 1피트인 1입방피트 안에 0.5 마이크로미터 이상 크기의 입자 수가 얼마나 되는지를 나타냄
Ex) 클린룸의 클래스가 1,000일때 0.5마이크로미터 이상 크기의 입자가 1,000개 이하인 공간
FOUP(Front Opening Unified Pod/Front Opening Universal Pod)
웨이퍼를 보관하거나 안전하게 이동할 수 있게 고안된 용기로, 웨이퍼 배송 전용 상자
OHT(Overhead Hoist Transport)
FOUP를 필요한 곳으로 이동시켜주는 배송 차량
OHT 시스템은 자율 주행 시스템과 유사, 이동 시 기기 간 충돌을 방지하고 장애물을 감지할 수 있는 센서가 탑재돼 있어, 위험이 발생할 경우 자동으로 감속해 안전한 이동이 가능
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