728x90 반응형 foup1 [8대 공정으로 MOSFET 형성 체험] (2) Fab에 입장하다 :: STEP 한국기술대학교 온라인평생교육원 8대 공정으로 MOSFET 형성 체험(2) Fab에 입장하다학습목표반도체 8대 공정에 대해 설명할 수 있다, FAB의 구조에 대해 설명할 수 있다. 학습목차1. 8대 공정2. Fab 1. 8대 공정 1. 웨이퍼 제조 공정 웨이퍼의 재료는 주로 실리콘- 지구상에 양이 풍부함- 밴드갭이 크고 열적 안정성이 높음- 도핑에 유리함- 무독성- 산화막 특성이 우수 웨이퍼 제조 방법- 웨이퍼란?반도체를 성장시켜 만든 단결정 기둥을 얇게 썰어낸 원판 *단결정 기둥(잉곳):Czochralski Method(초크랄스키 기법)(CZ) -> 도가니를 사용한 방식 / 대부분 기업이 사용하는 방식Flat zone Growth(플랫존성장)-> RF코일을 이용, 도가니를 사용하지 않아 순도가 더 높음 / 다만 생산성이 떨어져기업보.. 2024. 7. 2. 이전 1 다음 728x90 반응형
