728x90 반응형 cmp 장비 유지 보수 방법1 [STEP 한국기술대학] 반도체 제조 공정 장비 운영 - (16) CMP 장비 유지 보수 방법 반도체 제조 공정 장비 운영(16) CMP 장비 유지 보수 방법*PM 관련 사항은 전편 참고 CMP 장비 유지 보수 항목 1. PM 주기 및 항목- 소모성 파트- RPM(플레이튼, 헤드, 패드컨디셔너), 슬러리 유량, 압력(다운 포스, 배압, 디스크),각 구성품의 수명, 필터 등 2. 장비 유지보수 항목 2024. 6. 25. 이전 1 다음 728x90 반응형
