[8대 공정으로 MOSFET 형성 체험] (5) 소스, 드레인, 게이트를 만들면 완성! :: STEP 한국기술대학교 온라인평생교육원
8대 공정으로 MOSFET 형성 체험(5) 소스, 드레인, 게이트를 만들면 완성! 학습 목표 이온 주입, 금속 배선 공정을 이용한 단자 형성 방법에 대해 설명할 수 있다,테스트 공정을 통한 MOSFET의 완성도 평가 방법에 대해 설명할 수 있다 학습 목차1. 이온 주입 공정2. 금속 배선 공정3. 테스트 공정 1. 이온 주입 공정 장비소스원하는 Dopant를 포함하는 가스를 플라즈마로 만들면 이온, 라디칼, 전자가 생성된다13족 dopant B(BF3, BCl3) , 15족 dopant P, As (PH3, AsF5, AsH3) Mass Spectrometry (질량분석기)자기장을 가해 반경 차이를 이용해 이온을 분류, 원하는 이온을 선택할 수 있다 적정 반경의 슬릿을 설치해 원하는 이온을 얻을 수 있음..
2024. 7. 9.
