728x90 반응형 배기설비1 [STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (2) 클린룸 설비구조 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(2) 클린룸 설비구조반도체설비 클린룸의 일반적 구조 1. 반도체 FAB 공정 1) FAB의 정의 - Fabrication Facility의 약자로 일종의 실리콘 웨이퍼 제조 공장을 말함 - 먼지와 소음, 자장 등으로부터 적절하게 보호 - 용도에 맞게 제어할 수 있는 실험실을 팹(FAB)이라고 부르기도 함 - FAB = 클린룸 = 청정실 2) FAB의 공정 -> 학부시절 진행했던 Perovskite Solar Cell 의 제작 과정과 크게 다르지 않다. 2. 반도체 FAB 구성 - 클린룸 본실, 공조 솔비, 유틸리티 설비, 부속 설비, 배기 설비 등 5가지로 구성됨 주요시설 및 장비 소개 1. 클린룸 본실 1) 반도체 장비 공정 - 셀 제조 공.. 2024. 6. 23. 이전 1 다음 728x90 반응형
