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공조기 세부구조 1

[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (9) 공조기 유지관리

반도체 장비 시설 운영 Part 1. (9) 공조기 유지관리공조기 유지관리 개요 1. 공조기 세부구조 파악하기1) 기능별 주요 내부구조 2) 공조기 내부 세부구조  2. 공조기 취급 및 운전 (1) 공조기 취급 주의사항• 공조기는 작업상 위험 요소가 많은 장치① 공조기 관리 및 수리는 반드시 지정된 사람이나 전기 관련 자격증을 가지고 있는 사람이 다루어야 함② 공조기 수리를 하기 전에는 반드시 전원이 차단되어 있는지 확인해야 함③ 공조기를 재가동할 때에는 퓨즈들을 먼저 연결한 후 전원을 투입하고 자동제어 반의 ON버튼을 눌러야 함④ 공조기 재가동 전 압력 게이지들의 압력 상태를 확인해야 함⑤ 공조기 재가동 전 필터의 장착 상태 및 청결 상태를 확인해야 함⑥ 히터와 가습기 등을 수리하는 경우 전원 차단 후..

반도체/반도체 장비 시설 운영 Part 1 2024.06.24
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