[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (3) 클린룸 공조설비

반도체 장비 시설 운영 Part 1.
(3) 클린룸 공조설비

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공조설비 개요

1. 공기조화의 정의

 1) 공기조화

  - 인공적으로 어떤 특정한 공간의온도, 습도, 청정도, 기류 등을 주어진 조건으로 상시 제어하는것

 

 2) HAVC

  - Heating, Ventilation, Air Conditioning(난방, 환기, 공기조화)

  - 외부의 공기를 이용하여 특정한 내부공간을 최적의 온도, 습도, 기류 등으로 제어하는것

 

 3) 공조의 4대 요소

  - 온도 / 습도 / 청정도 / 기류분포

 

2. 공기조화의 분류  

3. 공기관련 용어 설명

 1) TAC 온도

  - 기술자문위원회(TAC : Technical Advisory Committee) 제안

  - 냉난방 설계 외기온도를 결정할 때, 냉난방기간 중 외기설정온도 밖으로 벗어나는 비율(%)을 고려한 온도

  - TAC 위험률

  - TAC 온도 또는 위험률 몇 % 온도

 

4. 공조설비의 구성

 

 

1) 열원설비

  - 온열원장비로 보일러 사용 : 온수와 증기를 공기조화기 내의 가열코일로 공급 하여 온풍을 만듦

  - 냉열원장비로 냉동기 사용 : 냉수를 냉각 코일에 공급하여 냉풍을 만듦

  - 부속 설비 : 냉각탑, 냉각수 펌프, 보일러 급수펌프, 부속배관 등

 

2) 공기조화기(AHU) 설비

  - 실내로 공급되는 공기를 원하는 조건에 적합하게 만듦 

  - 공조기 내에 가열코일, 냉각코일, 가습기, 송풍기, 공기여과기(에어필터) 등이 있음

 

3) 자동제어설비

  - 실내공기의 상태를 자동적으로 유지하고 운전하기 위한 제어설비

  - 공기조화설비 전체의 운전, 감시 등의 중앙관제설비도 포함됨

 

4) 열수송설비

  - 공조기와 공조대상 실내공간 사이에서 공기를 순환시키거나 또는 외기를 유입시키기 위한 송풍기와 덕트계통

  - 열원설비와 공조기 사이에서 냉온수를 순환시키는 냉온수 펌프와 배관계통 등

 

5. 클린룸 공조설비

  - 공조기는 클린룸 청정도 유지관리 및 설비유지관리에 매우중요함

 

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공조설비 구조 및 기능

 

1. HAVC 전체구상도

2. 열원설비

 - 공조설비 전체의 열부하를 처리하기 위한 설비

 - 냉동기, 냉각탑, 보일러, 냉각수 펌프, 급수설비 등

 

1) 냉동기(Chiller) : 압축, 응축, 팽창 그리고 증발이라는 냉동 싸이클의 반복에 의해 공기를 냉각하는 장치

 

2) 냉각탑(Cooling Tower) : 기계나 산업공정에서 발생하는 열을 제거하기 위하여 사용된 온수를

                                             온수보다 낮은 주위의 공기로 열교환 방식을 이용하여 물과 직접 접촉시켜

                                             온수를 냉각해 재사용할 수 있도록 하는 장치

 

3) 보일러(Boiler) : 밀폐된 여러 가지 모양의 금속제 용기 내에 물 또는 열매체를 넣고

                              열원을 이용하여 가열한 후 증기나 온수를 발생시키는 장치

 

3. 공기조화기(AUH) 설비

 - 열원설비에 공급된 냉수, 온수 등을 받아 내부적인 각종 제어를 통하여 실내에 필요한 공기를 직접적으로 공급하는 장치

 - 클린룸 설비에서 가장 핵심적인 장치

 

4. 열수송설비

  - 송풍기-덕트계 : 공조기 설비와 공조 대상 공간 즉, 실내 공간 사이에서 반송과 순환을 위한 설비

  -펌프-배관계 : 열원설비와 공조기 설비 사이에서 반송과 순환을 위한 설비

 

5. 자동제어설비

  - 실내 공기의 상태를 자동적으로 유지하고 운전하기 위한 제어설비

  - 공기조화설비 전체의 운전, 감시 등의 중앙관제설비도 포함함

 

6. 공조설비 시스템 분류