반도체 제조 공정 장비 운영(8) Track 장비 유지 보수 방법1. 유지보수란? PM: 사용중인 기기나 장치에 생기는 고장을 사전에 방지하는것-> 장비의 성능 점검, 부품 교체 및 수리, 청소 등을 실시함으로써 장비가 원하는 성능으로 가동될 수 있도록 하는 활동 PM의 활동내용- 주기적인 예방 점검 항목을 인지하고 일정과 절차에 따라 실시함- 기준에 맞지 않는 사항이 있으면 고장 또는 이상 발생에 대한 조치를 실시함- PM 일지 작성- 고장 또는 이상 발생에 대한 원인 분석 및 영향 평가- 조치 사항, 결과, 대책을 정리하여 보고서 작성 통계적 분석의 활용- PM 활동의 데이터를 축적하고 통계적으로 해석함- 이상 값과 추세 등을 진단하고 예측하며 보고를 통해 정보를 공유- 과학적이고 체계적인 장비 유지..
