728x90 반응형 photolithography1 [포토공정] Photolithography & 장애물 & EUV Photolithography해당 카테고리에서는내가 가장 관심이 많은 Photolithography,즉 포토공정에 대해서 공부하고 포스팅 할 예정이다. 따라서 이 카테고리에 첫 포스팅은포토공정이 무엇인지,포토공정이 개선해나가야 할 장애물은 무엇인지,그 방법인 EUV가 무엇인지에 대해서 정리해보려고 한다. 반도체에서 패턴은 정말 중요하다.특히 패턴을 그리는 포토공정이 중심을 잡아 주어야 반도체 전체 성능이나 동작, 칩의 완성도가 높아진다. 포토공정은 설계된 회로를 웨이퍼 위에 그리는 공정인데 이름처럼 사진 인화의 원리와 같다. 간단히 설명하면 1단계는 감광액(PR) 도포이다.형성되는 막의 두께가 균일해야 하기 때문에 스핀코팅(spin coating)으로 회전하면서 도포하게 된다. 스핀코팅은 학부시절 p.. 2024. 7. 29. 이전 1 다음 728x90 반응형
