728x90 반응형 패스박스1 [STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (8) 클린룸 부속장치 반도체 장비 시설 운영 Part 1.(8) 클린룸 부속장치패스박스 1. 패스박스의 기능 • 패스박스(Pass Box) - 클린룸과 외부 또는 청정도가 서로 다른 구역과의 경계에 설치 - 사람이 출입하지 않고도 물품의 출입을 가능하게 함 - 오염공기의 유입이나 청정공기의 유출을 막음 2. 패스박스의 종류 1) 표준형 패스박스• 클린룸용으로 제일 많이 사용• Interlock- 한쪽의 문을 열면 반대측의 문이 열리지 않음• UV Lamp- 물품의 표면에 쬐어 살균 2) 에어샤워형 패스박스• 초속 이상의 풍속으로 청정공기를 쏘여 표면에 부착된 분진입자 제거• 오염 공기를 흡입구로부터 저성능 필터와 고성능 필터를 거쳐 정화한 후 토출 노즐로서 뿜어내며 순환 3. 패스박스의 구조 1) 표준형 패스박스의 구조2) .. 2024. 6. 23. 이전 1 다음 728x90 반응형
