[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (7) 클린룸 클린장치
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(7) 클린룸 클린장치스목룸(Smock Room) 1. 스목룸 기능 및 구성• 스목룸(Smock Boom) - 클린룸 입실 전에 작업에 필요한 옷(방진의류)으로 환복하는 공간 - 클린룸 입실 전에 처음으로, 반드시 들르는 공간 2. 클린 락커 (Clean Locker)• 방진복을 비치하는 공간 - 방진복에 묻어있는 각종 오염물질 제거 1) 클린 락커 구성 • 프레임,팬 모터, 제어반, 필터(저성능 필터,중성능 필터, 고성능 필터, 필터 팬 유닛) 2) 클린 락커 동작 흐름 • 클린룸 내부의 청정도 유지를 위한 사전 오염물질 제거 3. 방진 의류• 사람의 몸으로부터 나오게 되는 머리카락, 비듬, 침, 피부 분진 등이 클린룸 내부에서 발생되지 않도록 사전에 방지하..
2024. 6. 23.
