반도체 장비 시설 운영 Part 1.(10) 클린룸 운영관리클린룸 유지관리 개요 1. 클린룸 유지관리 항목 분류 2. 클린룸 유지관리 기본 원칙 1) 유입침투 방지 • 오염물질(먼지) 유입 차단 - 사람은 에어샤워(Air Shower)를 통하여 클린룸에 입실 - 물품은 패스박스(Pass Box)를 통하여 반입 - 사람 출입구 및 물품 반입구는 이중문을 사용 - 설비 및 원·부자재 반입시 오염물질 제거 작업 실시 - 클린룸에 필터(Filter)로 여과된 청정공기의 공급 - 클린룸의 정압 유지 - 덕트에서의 청정공기 누설방지 2) 발생 방지• 오염물질(먼지) 발생 차단 - 청정실용 방진의복 착용 - 청정 필기구 사용(무진 종이, 무진 볼펜 등) - 저발진성 재료 사용 - 클린룸에서 불필요한 말, 행동 금지 ..
