반도체 장비 시설 운영 Part 1.(12) 클린룸 환경관리클린룸 오염환경 1. 파티클(Particle) • 파티클(Particle) - 공기 혹은 가스나 액체에 존재하는 고체성 물질 - 1μm보다 큰 것은 미립자(Dust), 1μm보다 작은 것은 먼지 - 보통 클린룸 설비 관련해서는 편의상 먼지, 또는 입자라 부름 - 1μm = 10-6 m = 1/1,000,000m - 연기/안개 = 1.0μm, 미세 스프레이 최소 방울 = 10μm, 머리카락 = 100μm • 파티클(먼지)의 크기 - 직경을 고려하여 가장 긴 쪽을 먼지 크기로 정의 - 0.1μm, 0.3μm, 0.5μm, 1μm, 3μm, 5μm 등으로 분류 1) 파티클(먼지) 개수 측정• 파티클 카운터(Particle Counter) - 대..
