[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (6) 클린룸 에어필터
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(6) 클린룸 에어필터에어필터의 개요 1. 에어필터의 기능과 사용범위 1) 에어필터 • 어떠한 유체(공기, 기름, 연료, 물 등)를 일정한 시간 내에 일정한 용량을 일정한 크기의 입자로 통과시키는 장치 • 대기 중에 존재하는 분진을 제거하여 필요에 맞는 청정한 공기를 만들어냄 2) 에어필터의 사용범위 2. 에어필터의 구조 1) 프레임(외곽틀)• 합관, 알루미늄 및 강판, 스테인리스강, 플라스틱류 등 사용 2) 여과재(여재)• 유리섬유, 부직포 등 사용 3) 밀봉제• 여과재 전체와 외곽틀 사이를 밀봉하는 재료• 우레탄계, 네오프렌계, 에폭시계 등의 자기소화성 재료 사용 4) 가스킷(Gasket)• 코르크류, 고무합성품류, 네오프렌계 스펀지류 등 사용 5) 분리판• 분리판..
2024. 6. 23.
