728x90 반응형 스퍼터타깃1 [반도체 후공정] (10) '반도체 패키지'의 역할과 재료(2) / 웨이퍼 레벨 패키지 / PR / 도금용액 / PR 스트리퍼 / 에천트(Etchant) / 스퍼터타깃 / 언더필 / 캐리어와 접착제(TBA) 반도체 후공정 (10) '반도체 패키지'의 역할과 재료(2)- SK 하이닉스 뉴스룸패키지별 재료의 특성에 관해 알아보는 두 번째 시간이다.이번 시간에는 웨이퍼 상태에서 패키지 공정을 진행하는 ‘웨이퍼 레벨 패키지’ 재료에 대해 설명하겠다.#1. 포토 레지스트(Photo Resist, PR)포토 레지스트는 용해 가능한 고분자와 빛 에너지에 의해 분해 또는 가교(결합, 연결) 등의 화학적인 반응을 일으키는 물질을 용매에 녹인 혼합 조성물이다. 웨이퍼 레벨 패키지 공정에서는 포토 공정에서 구현하고자 하는 패턴(Pattern)을 형성하고, 뒤이어 진행되는 후속 전해도금 공정에서 포토 레지스트가 없는 부분에 도금으로 금속 배선을 형성하는 배리어(Barrier) 역할을 한다. 포토 레지스트는 과 같은 물질로 구성되.. 2024. 7. 21. 이전 1 다음 728x90 반응형
