[STEP 한국기술대학] 반도체 장비 시설 운영 Part 1. - (1) 클린룸 개요
반도체 장비 시설 운영 Part 1.(1) 클린룸 개요 클린룸의 정의 및 분류 1. 클린룸의 정의 - 공기 부유입자의 농도를 일정한 수치 이하로 제어, 입자의 유입, 생성 및 체류를 최소화한 공간 - 온도, 습도, 압력 등이 필요에 맞게 일정하게 제어되는 공간 2. 클린룸의 분류 1) 산업용 클린룸(ICR, Industrial Clean Room) - 전자공장이나 정밀기계공장에서 생산 공정의 청정 환경을 위해 사용되는 클린룸 - 시스템에 대한 정밀화, 소형화, 고품질, 고신뢰성을 확보 2) 바이오 클린룸(BCR, Biological Clean Room) - 제약공장, 식품공장, 병원 등에서 제품의 오염 방지, 변질 방지 및 환자의 감염 방지를 위해 사용되는 클린룸- 무균에 가까운 상태가 요구 되..
2024. 6. 23.
